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共用設備検索結果

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光造形3Dプリンター  (Stereolithography 3D printer)

メーカー名
Seaforce (Seaforce)
型番
028J plus
設備画像
光造形3Dプリンター
設置機関
東北大学
仕様・特徴
最小積層ピッチ:0.01mm、最大造形サイズ:90mm x 90mm x 90mm

サブフェムト・インクジェット (Sub-femto inkjet)

メーカー名
SIJテクノロジー (SIJテクノロジー)
型番
PR150-THU
設備画像
サブフェムト・インクジェット
設置機関
東北大学
仕様・特徴
最小線幅:約5μm

NCプリント基板加工装置 (NC mechanical PCB and Micro processing Machine )

メーカー名
LPKF (LPKF)
型番
Protomat S62
設備画像
NCプリント基板加工装置
設置機関
東京大学
仕様・特徴
機械加工によって切削可能なすべての材料の加工が可能。

ブレードダイサー (Dicing Saw)

メーカー名
ディスコ (DISCO)
型番
DAD3650
設備画像
ブレードダイサー
設置機関
東京大学
仕様・特徴
二軸スピンドルダイサー
この「二軸機」によれば、四角く切り出したチップ端部を斜めに切りおとすこと(ベベルカット)が可能になり、塗布したレジストの平坦性が担保される効果が期待でき、チッププロセスの収率向上に大きなプラスとなります。

試料作製装置群 (Specimen preparation apparatus group)

メーカー名
E.A. Fischione Instruments Gatan 日本電子 ライカ マイクロシステムズ ()
型番
Model1040, PIPSⅡ, IB-09020CP, Leica EM UC7
設備画像
試料作製装置群
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
TEM/STEM/SEM観察のための試料作製に関する装置群
PIPS
ミクロトーム
アルゴンイオン研磨装置
NanoMill
カーボンコータ
オスミウムコータ
白金コータ
各種研磨装置
クロスセクションポリッシャー

インクジェットパターン形成装置 (Inkjet Printer)

メーカー名
SIJテクノロジ (SIJTechnology)
型番
STO50-TBD01
設備画像
インクジェットパターン形成装置
設置機関
筑波大学
仕様・特徴
最小吐出量;0.1fl
最小ライン;0.6μm
分解能;0.1μm
位置精度;±0.2μm

集束イオンビーム加工観察装置(FIB) (Focused Ion Beam System(FIB))

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
FB-2100
設備画像
集束イオンビーム加工観察装置(FIB)
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
・型式:FB-2100
・試料サイズ: 18mmφ以下, 高さ10mm以下
・イオン源:ガリウム液体金属イオン源
・加速電圧:2kV, 5kV, 10kV~40 kV (低加速電圧対応)
・像分解能:6 nm (SIM)
・ビーム径:3µm, 1.3µm, 600 nm, 320 nm, 120 nm, 60 nm, 10 nm
・イオンビーム電流:0.1nA~68nA (大電流対応)
・デポジションガス:タングステンカルボニル
・マニュピレータシステム:シングルプローブ
・試料ステージ制御:5軸チルトステージ
・ステージ傾斜角度:最大45°

基板貼付け装置 (Wafer bonding equipment)

メーカー名
アユミ工業 (Ayumi Inc)
型番
 VE-07-18 
設備画像
基板貼付け装置
設置機関
東京工業大学
仕様・特徴
・対応基板サイズ:2インチウェハ,2 cm×2 cm角,3 cm×3 cm角
・プラズマ反応ガス:Ar, N2, O2
・最大プラズマ強度:750W
・アライメント精度<±1.6 μm
・チャンバー真空度:~10-5 Pa
・最大加熱温度:500℃
・アライメント部 加重範囲:5~100 kgf
・加重部 加重範囲:50~1000 kgf

電界電離ガスイオン源搭載集束イオンビーム装置 (GFIS-FIB)

メーカー名
日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
型番
MR-GFIS
設備画像
電界電離ガスイオン源搭載集束イオンビーム装置
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
仕様・特徴
N2イオンビームによる低汚染のFIB加工
最少加工幅:約10nm

工作室加工成形装置群 (machine shop)

メーカー名
 ()
型番
設備画像
工作室加工成形装置群
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
仕様・特徴
各種工作機械(主なものは下記)
マシニングセンター
ワイヤー放電加工機
旋盤
レーザー加工機
3Dプリンタ
その他
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