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電子線描画用近接効果補正ソフト (Procxymity effect correction for electron beam lithography)

設備ID
UT-508
設置機関
東京大学
設備画像
電子線描画用近接効果補正ソフト
メーカー名
GenISys (GenISys GmbH)
型番
Beamer
仕様・特徴
電子線描画時に生じる近接効果を補正して設計通りのレズストパターンを電子線で描画するためのパターン補正システム

分子構造解析システム (Molecular structure analysis system)

設備ID
KU-516
設置機関
九州大学
設備画像
分子構造解析システム
メーカー名
 ()
型番
自主開発
仕様・特徴
生体分子や高分子材料のシミュレーションおよび可視化のために必要なシステムを、並列コンピューティングおよびGPUコンピューティングにより稼働している。非経験的分子軌道法、密度汎関数理論計算プログラム、分子動力学といった様々な手法によるモデリング、計算、解析が可能である。

デバイスシミュレーター (Device Simulator)

設備ID
BA-001
設置機関
筑波大学
設備画像
デバイスシミュレーター
メーカー名
SILVACO (SILVACO)
型番
ATHENA/ATLAS
仕様・特徴
2次元プロセスシミュレーター
2次元シリコン・デバイスシミュレーター
2次元先端材料・デバイスシミュレーター
3次元シリコン/先端材料・デバイスシミュレーター

解析用PC(CAD及び近接効果補正用) (PC (PEC and CAD))

設備ID
AT-094
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
設備画像
解析用PC(CAD及び近接効果補正用)
メーカー名
ジェニシス (GenISys)
型番
BEAMER
仕様・特徴
・型式:BEAMER
・近接効果補正
・パターン分割処理
・輪郭分離処理
・PSFシミュレーション

データコンバートシステム (data converter)

設備ID
WS-028
設置機関
早稲田大学
設備画像
データコンバートシステム
メーカー名
有限会社君塚製作所 (KSS Internet)
型番
特注品
仕様・特徴

大規模量子化学計算 (Large-scale quantum chemistry calculation)

設備ID
MS-302
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
設備画像
大規模量子化学計算
メーカー名
 ()
型番
仕様・特徴
高精度ナノ構造電子状態計算
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