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シート抵抗測定器 (Sheet resistance meter)
- メーカー名
- エヌピイエス社 (NPS)
- 型番
- Σ-5＋
- 設備画像
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 仕様・特徴
- ・サンプル制限は少ない。260mm幅のステージに載れば測定可能
・1.000mΩ/□～5000.0KΩ/□を約1sで測定
微小デバイス特性評価装置 (Electron Beam Absorbed Current (EBAC) Characterization System nanoEBAC )
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- NE4000
- 設備画像
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 500 V ～ 30 kV
・分解能: 15nm（加速電圧2kV、WD_15mm）
・プローブユニット：4
・付属：半導体デバイス・アナライザ（B1500A）
分光感度・内部量子効率測定装置 (Solar Simulator)
- メーカー名
- 分光計器 (BUNKOUKEIKI)
- 型番
- CEP-2000RP
- 設備画像
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 仕様・特徴
- ・波長範囲；300～1200nm
・単色照射面積：10×10mm
熱/電気物性評価装置 (Physical Property Measurement System (PPMS))
- メーカー名
- カンタムデザイン (Quantum Design)
- 型番
- PPMS EverCoolⅡ
- 設備画像
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 仕様・特徴
- ・熱特性：比熱測定（熱容量）、熱輸送測定（熱伝導率、ゼーベック係数、メリット係数（ZT））
・電気特性：電気輸送特性、直流抵抗
・温度：2K-400K
・高真空オプション：<10-5Torr
プローバ (High-temperature manual probe station)
- メーカー名
- 日本マイクロニクス (Micronics Japan)
- 型番
- C-51
- 設備画像
- 設置機関
- 広島大学
- 仕様・特徴
半導体パラメータアナライザ (Semiconductor Parameter Analyzer)
- メーカー名
- アジレント (Agilent)
- 型番
- 4156他
- 設備画像
- 設置機関
- 広島大学
- 仕様・特徴
- トランジスタ特性測定（HP4156、プローバ含む）、
電源3ユニット、最小測定電流0.1pA
ホール効果測定装置 (Hall effect measuring device)
- メーカー名
- ACCENT (ACCENT)
- 型番
- HL5500PC
- 設備画像
- 設置機関
- 広島大学
- 仕様・特徴
- 試料の抵抗値、キャリア濃度及び移動度を測定可
ウェハプローバ (Wafer prober)
- メーカー名
- ｶｰﾙ･ｽﾞｰｽ (SUSS MicroTec)
- 型番
- PM5
- 設備画像
- 設置機関
- 香川大学
- 仕様・特徴
- 対応基板サイズ：直径1インチ～150mm
X・Y移動範囲（粗動）：最大150mm×150mm
X・Y移動範囲（微動）：10mm×10mm
Θ調整範囲：360°
高さ調整範囲：10mm
顕微鏡X・Y移動範囲：50mm×50mm