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Elite300 附属電気特性測定装置  (Electronic measurement system attaced to Elite 300)

メーカー名
Cascade (Cascade)
型番
Elite 300
設備画像
Elite300 附属電気特性測定装置
設置機関
東京大学
仕様・特徴
B1500A,DS090804A,N6705B,81160A,3498-A,DSO-Xを含むラック

比抵抗測定器 (Specific electrical resistance tester)

メーカー名
国際電気アルファ(日立国際電気) (Hitachi Kokusai Electric Inc.)
型番
VR-120S
設備画像
比抵抗測定器
設置機関
東京大学
仕様・特徴

マイクロシステムアナライザ (Micro System Analyzer)

メーカー名
ポリテックジャパン(株) (Polytec)
型番
MSA-500-TPM2-20-D
設備画像
マイクロシステムアナライザ
設置機関
京都大学
仕様・特徴
MEMSデバイスの動的特性(面外,面内)
および表面形状を3次元で測定
・MEMSデバイスの動的特性(面外,面内)および表面形状を3次元で測定

プローバ (Prober)

メーカー名
(株)日本マイクロニクス (MICRONICS JAPAN CO., LTD.)
型番
Model 708fT
設備画像
プローバ
設置機関
京都大学
仕様・特徴
微小電流(fAレベル)領域の解析・評価を行うためのマニュアルプローバ
・マニュアルタイプ
・ウエハサイズ ~Φ200mm

真空プローバ (Vacuum Probe System)

メーカー名
カスケード・マイクロテック(株) (Cascade Microtech, Inc.)
型番
PLV50
設備画像
真空プローバ
設置機関
京都大学
仕様・特徴
Φ150mm基板まで対応できるマニュアルプローブシステム
(-40℃~+200℃過調制御可能)
・チャックサイズ:Φ150mm,Φ100mm,小片基板 ほか
・チャック温度:-40~+200℃
・真空チャンバー 制御圧力:10~10-2Pa

パワーデバイスアナライザ (Power Device Analyzer & Curve Tracer)

メーカー名
アジレント・テクノロジー(株) (Agilent Technologies, Inc.)
型番
B1505A
設備画像
パワーデバイスアナライザ
設置機関
京都大学
仕様・特徴
基本的にC17のプローバと組み合わせて使用する。(別のプローバ等を使用される場合は、要相談)
・IV測定 電流: 10 fA~1 A 電圧: 2μV~200 V

インピーダンスアナライザ (Precision Impedance Analyzer)

メーカー名
アジレント・テクノロジー(株) (Agilent Technologies, Inc.)
型番
4294A
設備画像
インピーダンスアナライザ
設置機関
京都大学
仕様・特徴
アジレント・テクノロジー(株)社製 4294A
基本インピーダンス確度 ±0.08%
周波数 40Hz~110MHz
真空プローバ;カスケード・マイクロテック社製 PLV50
チャックサイズ:Φ150mm,Φ100mm,小片基板 ほか
チャック温度:-40~+200℃
真空チャンバー 制御圧力:10~10-2Pa

光ヘテロダイン微小振動測定装置 (Optical Heterodyne Laser Doppler Vibrometer )

メーカー名
ネオアーク(株) (NEOARK Corporation)
型番
MLD-230D-200K
設備画像
光ヘテロダイン微小振動測定装置
設置機関
京都大学
仕様・特徴
ネオアーク(株)社製 MLD-230D-200K
測定方向 縦振動、横振動の方向を切り替えて測定
測定周波数 1kHz~200MHz

セルテストシステム (Solar Cell Tester)

メーカー名
Solartron社 (Solartron Analytical)
型番
1470E
設備画像
セルテストシステム
設置機関
京都大学
仕様・特徴
英国ソーラトロン社製セルテストは、 インピーダンスアナライザ(1260型)と8チャンネルポテンショ/ガルバノスタット(1470E型)から構成されます。
様々な電気化学測定が最大8チャンネルまで独立測定が可能です。
各種電池、キャパシタなどエネルギーデバイスの伝導度測定、酸化還元電位測定、 インピーダンス測定による劣化解析などが可能です。
・インピーダンスアナライザと8チャンネルポテンショ/ガルバノスタットの構成
・8チャネル独立測定可能

高周波伝送特性測定装置 (Manual Prober)

メーカー名
(株)アポロウエーブ (APOLLOWAVE Corporation)
型番
α150
設備画像
高周波伝送特性測定装置
設置機関
京都大学
仕様・特徴
(株)アポロウエーブ社製 α150
チャックサイズ6インチ(室温~300℃)
プローブ位置合わせのストローク量: X,Y,Z各±5 mm
RFプローブキット
ネットワークアナライザ
半導体パラメータアナライザ
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