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IRエミッション顕微鏡 (IR Emission Microscope)

メーカー名
浜松ホトニクス / TNSシステムズ / 東機通商 (Hamamatsu Photonics K.K. / TNS Systems LLC / Toki Commercial Co., Ltd)
型番
THEMOS-1000
設備画像
IRエミッション顕微鏡
設置機関
筑波大学
仕様・特徴
半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障個所を特定する高解像度エミッション顕微鏡。赤外線画像の観測により、発熱分布(温度分布)の検出や、電流リーク箇所の同定が可能。発熱分布の時間依存性計測により、温度の時間的な広がりが観測可能。パワーデバイス特性評価装置B1505Aと組み合わせることでプローバーとして利用可能。
検出波長:3.7μm~5.1μm
最大視野:3cm × 2cm
最小視野:0.7mm × 0.7mm
最小空間分解能:2.8μm
雑音等価温度差:25mK
時間分解能:3μsec.
ステージ温度:室温~200℃

東京エレクトロン300mm ウェハプローバ (Tokyo Electron 300mm Wafer Prober)

メーカー名
東京エレクトロン (Tokyo Electron)
型番
PrecioNanoPV00043
設備画像
東京エレクトロン300mm ウェハプローバ
設置機関
東京工業大学
仕様・特徴
150mm, 200mm, 300mmウェハ対応プローバー
多数枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静特性測定

FormFactor 300mm ウェハプローバ (FormFactor 300mm Wafer Prober)

メーカー名
FormFactor (FormFactor)
型番
CM300
設備画像
FormFactor 300mm ウェハプローバ
設置機関
東京工業大学
仕様・特徴
チップ~ 300mmウェハ対応プローバー
単枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静/動特性測定

熱/電気物性評価装置 (Physical Property Measurement System (PPMS))

メーカー名
カンタムデザイン (Quantum Design)
型番
PPMS EverCoolⅡ
設備画像
熱/電気物性評価装置
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
仕様・特徴
・熱特性:比熱測定(熱容量)、熱輸送測定(熱伝導率、ゼーベック係数、メリット係数(ZT))
・電気特性:電気輸送特性、直流抵抗
・温度:2K-400K
・高真空オプション:<10-5Torr
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