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半導体パラメータアナライザ (Semiconductor parameter analyzer)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Keysight (Keysight)
- 型番
- B1500A SMU B1511B x4 GNDU
- 仕様・特徴
- 各種半導体集積回路特性評価
室温プローバー [MX-200/B] (Room Temp. Prober [MX-200/B])
- 設備ID
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![室温プローバー [MX-200/B]](data/facility_item/NM-630.jpg)
- メーカー名
- ベクターセミコン,アジレント・テクノロジー (Vector Semiconductor,Agilent Technologies)
- 型番
- MX-200/B，B1500A
- 仕様・特徴
- ・用途：I-V/C-V特性評価
・プローブ：同軸プローブ
・マニピュレータ：4基
・I-V測定端子：4ユニット
・C-V測定端子：1ユニット
・最大試料サイズ：φ4inch
・その他：試料ステージ電圧印加可，除振台／シールドボックス装備
液体窒素プローバー [SB-LN2] (Liquid N2 Prober [SB-LN2])
- 設備ID
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![液体窒素プローバー [SB-LN2]](data/facility_item/NM-631.jpg)
- メーカー名
- サーマルブロック,ケースレーインスツルメンツ (Thermal Block,Kiethley Instruments)
- 型番
- SB-LN2PS，4200-SCS
- 仕様・特徴
- ・用途：77K台から500KまでのI-V特性評価
・試料冷却方式：液体窒素
・プローブ：SMAプローブ
・マニピュレータ：4基
・I-V測定端：4ユニット
・最大試料サイズ：20mm角
・その他：77Kから500Kまで任意に温度設定可
拡がり抵抗測定装置 (Spreading resistance measurement)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Solid State Measurement (Solid State Measurement)
- 型番
- SSM150
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片
ウェハを小片にして端面を斜め研磨した後に測定
極限環境下電磁物性計測装置 (Physical Property Measurement System (PPMS))
- 設備ID
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本カンタム・デザイン (Quantum Design Japan)
- 型番
- PPMS-14LHattt
- 仕様・特徴
- □ 主な仕様
・14 T超伝導マグネット
・温度制御 1.9K～400K
・試料空間 25.4mm
□主な用途
・電気輸送特性評価
・磁気特性評価
・熱輸送特性評価など
環境制御マニュアルプローバステーション (Environmental control manual prober station)
- 設備ID
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- （東陽テクニカ等） (Toyo Corporation)
- 型番
- ①半導体特性評価システム4200-SCS ②強誘電体特性評価システムFCE1EEA-200型 ③誘電体インピーダンス測定システム1260 ④極低温プローバー装置CPX-VF
- 仕様・特徴
- □ 主な仕様
・低温プローバ(CRX-4K):6K～350K
・高温プローバ(HCP-401/400)：室温～400度
・半導体パラメータ測定(4200-SCS型)
・誘電体測定(FCE1EEA-200型)
・インピーダンス測定(ソーラートロン1260)
□主な用途
・ 強誘電体分極評価測定
・インピーダンス周波数測定
・キャパシタ周波数測定など
集積回路パターン微細加工（FIB）装置 (FIB for LSI Repair)
- 設備ID
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- FEI (FEI)
- 型番
- 400ACE
- 仕様・特徴
- LSI配線を効率的に修正するための装置です。DCG P2Xを置き換えました。ガスを利用した金属配線カット、絶縁膜堆積、金属配線堆積が可能。大規模集積回路（VLSI）の配線修正を最も得意とする装置です。それ以外の利用は東大拠点では微細構造解析で公開しているXvision 200TBの利用がお勧めです。（案内します）
形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.)
- 設備ID
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーエンス ブルカー 東朋テクノロジー ズースマイクロテック 日本分光 オリンパス (Keyence BRUKER Toho Technology SUSS MicroTec JASCO Olympus)
- 型番
- VHX-6000 DektakXT Tohospec3100 Suss8”プローバ M-550 LEXT OLS5000
- 仕様・特徴
- 枝番1：顕微鏡
枝番2：触針段差計
枝番3：光干渉式膜厚測定装置
枝番4：Suss8”プローバ,針を当てて電気的特性を測定する装置。8インチ対応。
枝番5：分光エリプソメータ―
枝番6：レーザー顕微鏡
半導体パラメータアナライザー (Semiconductor Parameter Analyzer)
- 設備ID
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーサイト (KEYSIGHT)
- 型番
- B1500A
- 仕様・特徴
- キーサイト