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触針式表面段差計 (Stylus Profilemeter)

メーカー名
KLA-TENCOR (KLA-TENCOR)
型番
Alpha-Step D-500
設備画像
触針式表面段差計
設置機関
筑波大学
仕様・特徴
測定長さ; 30 mm
サンプルステージ直径; 140 mm
サンプル厚さ(最大); 20 mm
垂直測定レンジ(最大);1200 μm
垂直測定分解能;0.038 nm (2.5 μm Range)
観察倍率;×1, ×1.3, ×2, ×4

分光エリプソメータ (Ellipsometer)

メーカー名
堀場製作所 (Horiba)
型番
UVISEL Plus
設備画像
分光エリプソメータ
設置機関
筑波大学
仕様・特徴
PEMを利用した位相変調方式により、外光の影響を受けにくい分光エリプソメーター

測定波長:190~2100 nm(波長分解能力:2 nm)
スポットサイズ:0.05, 0.1, 1mmφ(垂直入射時)を選択

触針式段差計 (Contact Profiler)

メーカー名
KLA テンコール (KLA-Tencor)
型番
Alpha-Step IQ
設備画像
触針式段差計
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
・型式:Alpha-Step IQ
・試料サイズ:4インチ
・測定再現性:1σ≤8Å
・膜厚測定範囲:400 μm
・走査距離:最大10mm
・走査速度:2~200 μm /sec
・サンプリングレート:50, 100, 200, 500, 1000ポイント /sec
・測定レンジ:20, 400 μm
・針圧設定範囲:1~100 mg

分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometer)

メーカー名
堀場 Jovin-Yvon (Horiba Jovin-Yvon)
型番
UVISEL-M200-FUV-FGMS
設備画像
分光エリプソメータ
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
・型式:UVISEL-M200-FUV-FGMS
・試料サイズ:150mmφ
・ステージ上下調整幅:20mm
・波長範囲:190~826nm(1.5~6.5eV)

単波長エリプソメータ (Single Wavelength Ellipsometer)

メーカー名
溝尻光学工業所 (Mizojiri-opt)
型番
DHA-XA2M
設備画像
単波長エリプソメータ
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
・型式:DHA-XA2M
・試料サイズ:4インチφ
・光源:He/Neレーザー(632.8nm)、LD830(830nm)
・測定方式:回転検光子法
・入射角度:55°~75°

C-Vプロファイラ (C-V profiler)

メーカー名
バイオ・ラッド ラボラトリーズ (Bio-rad)
型番
POLARON PN4400
設備画像
C-Vプロファイラ
設置機関
東京工業大学
仕様・特徴
ワイドバンドギャップ半導体評価も可能

触針式段差計 (Contact surface profiler)

メーカー名
KLA テンコール (KLA Tencor)
型番
P-7
設備画像
触針式段差計
設置機関
東京工業大学
仕様・特徴
Φ150mm電動ステージ > 長距離測定(最大150mm) 垂直測定レンジ(最大)327μm 垂直測定分解能(最高)0.001nm 段差測定再現性 1σ=0.4nm (1μm標準試料) 針圧範囲 0.5~50mg

磁気光学効果評価装置 (Evaluation appratus for magneto-optic effect)

メーカー名
 ()
型番
設備画像
磁気光学効果評価装置
設置機関
東京工業大学
仕様・特徴
プレサイスゲージ社製導波路調芯装置/サンテック社製波長可変光源(波長1500~1680nm)/FiberPro社製ASE光源(~20dBm)/アドバンテスト社製光スペクトラムアナライザ(波長分解能0.01nm)による光導波路試料の磁気光学効果の測定
ファラデー回転測定装置(波長1550nm、最大磁場~1.6T:面直)/ネオアーク社製磁気カー偏光顕微鏡(対物レンズ50倍、最大磁場~0.1T:面内)による薄膜試料の磁気光学効果の測定

熱分析装置 (Thermal analyzer)

メーカー名
リガク (Rigaku)
型番
DSC8230/TG8120
設備画像
熱分析装置
設置機関
電気通信大学
仕様・特徴
TG/DTA: 室温~1500℃, DSC: -130℃~570℃

フラッシュ法熱物性測定装置 (Flash method thermal property measuring device)

メーカー名
Bruker AXS (Bruker AXS)
型番
NETZSCH LFA447
設備画像
フラッシュ法熱物性測定装置
設置機関
電気通信大学
仕様・特徴
測定温度範囲:室温~300℃
熱拡散率測定範囲: 0.01~1000mm2/s (試料の厚さによる)
熱伝導率測定範囲:0.1~2000W/(mK) (試料の厚さによる)
熱拡散率測定精度・再現性: ±5%以内 (標準試料)
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