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段差計 (Surface profiler)

メーカー名
アルバック (ULVAC)
型番
Dektak150
設備画像
段差計
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・触針式
・垂直分解能:10nm
・測定距離:50 µm~55 mm

赤外透過評価検査・非接触厚み測定機 (Infrared MEMS Analyzer)

メーカー名
(株)モリテックス (MORITEX Corporation)
型番
IRise-T
設備画像
赤外透過評価検査・非接触厚み測定機
設置機関
京都大学
仕様・特徴
赤外線により、非接触にて対象物の観察(内部観察)を行い、かつシリコンウェハ上の薄膜の厚みを測定することができる。
・基板 最大Φ8インチウェハー
・画像分解能 0.26μm/画素
・厚さ分解能 0.01μm以下( 5~150μm )

分光エリプソメーター (Spectral Ellipsometer)

メーカー名
大塚電子(株) (Otsuka Electronics Co., Ltd.)
型番
FE-5000
設備画像
分光エリプソメーター
設置機関
京都大学
仕様・特徴
・分光エリプソスペクトルの多波長同時測定
・基板(バルク)光学定数(n、k)が直接解析可能
・角度可変測定により、薄膜のより詳細な解析に対応
・測定膜厚範囲 0.1nm~1μm
・測定波長範囲 250nm~2000nm
・サンプルサイズ 200mm × 200mm以上

ゼータ電位・粒径測定システム (Zeta Potential & Particle Size Analyzer)

メーカー名
大塚電子(株) (Otsuka Electronics Co., Ltd.)
型番
ELSZ-2Plus
設備画像
ゼータ電位・粒径測定システム
設置機関
京都大学
仕様・特徴
希薄から濃厚系試料のゼータ電位・粒子径測定が可能
・測定範囲 ゼータ電位:-200~200mV
・電気移動度:-20×10-4~20×10-4cm2/V・s
・粒子径:0.6nm~7μm

ダイナミック光散乱光度計 (Dynamic Light Scattering Spectrophotometer)

メーカー名
大塚電子(株) (Otsuka Electronics Co., Ltd.)
型番
DLS-8000DH
設備画像
ダイナミック光散乱光度計
設置機関
京都大学
仕様・特徴
・動的光散乱法
粒径分布、拡散係数分布を測定
・静的光散乱法
第二ビリアル係数・重量平均分子量・慣性半径の見積もり、重量平均分子量
・動的光散乱法:粒径分布、拡散係数分布測定
・静的光散乱法:第二ビリアル係数・重量平均分子量測定・慣性半径の見積もり

超微小材料機械変形評価装置 (Nano-Indenter)

メーカー名
(株)エリオニクス (ELIONIX INC.)
型番
ENT-2100
設備画像
超微小材料機械変形評価装置
設置機関
京都大学
仕様・特徴
用途:圧子を微小荷重で試料に押込み、押込み深さを連続的に測定することで、試料表面の力学的特性を評価する装置。
・最大試料サイズ Φ50x t3.5mm
・荷重範囲 1μN~100mN

触針式段差計(CR) (Stylus Profilometer)

メーカー名
Veeco社 (株)アルバック (Veeco Instruments Inc. ULVAC, Inc.)
型番
Dektak150
設備画像
触針式段差計(CR)
設置機関
京都大学
仕様・特徴
(株)アルバック社製 Dektak150
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm~55mm
サンプルステージサイズ 直径 150mm

触針式段差計(加工評価室) (Stylus Profilometer)

メーカー名
Veeco社 (株)アルバック (Veeco Instruments Inc. ULVAC, Inc.)
型番
Dektak150
設備画像
触針式段差計(加工評価室)
設置機関
京都大学
仕様・特徴
(株)アルバック社製 Dektak150
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm~55mm
サンプルステージサイズ 直径 150mm

ウエハプロファイラ (Optical Wafer Profiler)

メーカー名
ケーエルエー・テンコール(株) (KLA Corporation)
型番
Zeta-388
設備画像
ウエハプロファイラ
設置機関
京都大学
仕様・特徴
非接触の3D表面形状測定装置。完全自動計測の為のハンドラを備えている。マルチモード光学系によって、透明・不透明基板の表面粗さ、段差及び膜厚測定が可能。

ゼータ電位・粒径・分子量測定装置群 (Zeta-potential and particle analyzer system)

メーカー名
大塚電子マルバーンマルバーン・パナリティカルGonotec Knauer (Otsuka Electronics Malvern InstrumentsMalvern PanalyticalGonotec Knauer)
型番
ELSZ-2,Nano ZSPZetasizer ProOSMOMAT 070Vapor Pressure Osmometer K-7000
設備画像
ゼータ電位・粒径・分子量測定装置群
設置機関
九州大学
仕様・特徴
【ゼータ電位/粒径測定システム:ELSZ-2】
・粒子径測定範囲(0.6-7000nm)
・ゼータ電位測定範囲(-200-200mV)
・測定濃度範囲:粒径0.00001-40%
・ゼータ電位濃度範囲:0.001-40%
・(希薄、濃厚試料対応)
・温調機能搭載、ゼータ電位の低誘電率溶媒測定対応
・平板試料用セルを用いた基板・フィルムのゼータ電位測定可能

【Nano ZSP、Zetasizer Pro】
・粒子および分子径 3nm~10mm
・平行拡散、電気泳動移動度
・高濃度および低濃度での粒子のゼータ電位
・タンパク質およびポリマー溶液の濃度
・分子量、A2, kD
・ナノ粒子、コロイド、およびタンパク質の特性評価など。
・ポリマー溶液の粘度は10mPasまで測定可能
・ 粒子 / 分子径、絶対分子量、ゼータ電位
【蒸気圧式絶対分子量測定装置OSMOMAT 070】
・測定分子量:トルエン:50~50,000 Dalton (g/mol)
・純水:50~5,000 Dalton (g/mol)
【蒸気圧式分子量測定装置:Vapor Pressure Osmometer K-7000】
・ 測定分子量 水:< 10,000 g/mol, 有機溶媒:40-40,000 g/mol
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