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ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)
- メーカー名
- トプコン (Topcon)
- 型番
- WM-3
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
カセットtoカセット
膜厚計 (Film thickness measurement)
- メーカー名
- ナノメトリクス (Nanometrics)
- 型番
- NanoSpec3000
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
卓上型エリプソ (Desktop Ellipsometer)
- メーカー名
- フォトニックラティス (Photonic lattice)
- 型番
- SE-101
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
Dektak 段差計 (Dektak surface profiler)
- メーカー名
- Dektak (Dektak)
- 型番
- 8
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
Tencor 段差計 (Tencor profiler)
- メーカー名
- Tencor (Tencor)
- 型番
- AlphaStep
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
超音波顕微鏡 (Ultrasonic microscope)
- メーカー名
- インサイト (Insight)
- 型番
- IS-350
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～300mm角
反射測定、透過測定の両方可
超音波周波数：10MHz、15MHz、25MHz、35MHz、50MHz、110MHz、200MHz
直線集束ビーム超音波材料解析システム#1 (Line-focus-beam acoustic microscope #1)
- メーカー名
- オリジナル (Original)
- 型番
- -
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
東北大学名誉教授 櫛引淳一 先生が開発した装置
直線集束ビーム超音波材料解析システム#2 (Line-focus-beam acoustic microscope #2 )
- メーカー名
- オリジナル (Original)
- 型番
- -
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
東北大学名誉教授 櫛引淳一先生が開発した装置
熱分析装置 (Thermal Analysis Equipment)
- メーカー名
- 株式会社リガク (Rigaku Corporation)
- 型番
- Thermo plus EVO Ⅱ
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- DSC
・室温～725 ℃
TG-DTA
・室温～1350 ℃
・最大試料量 1 g
・最大昇温速度 100 ℃/min