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超微小材料機械変形評価装置 (Nano-Indenter)

メーカー名
(株)エリオニクス (ELIONIX INC.)
型番
ENT-2100
設備画像
超微小材料機械変形評価装置
設置機関
京都大学
仕様・特徴
用途:圧子を微小荷重で試料に押込み、押込み深さを連続的に測定することで、試料表面の力学的特性を評価する装置。
・最大試料サイズ Φ50x t3.5mm
・荷重範囲 1μN~100mN

特型走査電子顕微鏡装置 (Scanning Electron Microscope)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JSM5600+特型試料ステージ
設備画像
特型走査電子顕微鏡装置
設置機関
名古屋工業大学
仕様・特徴
WフィラメントSEM。ピエゾ駆動探針装備。電気・機械特性測定、その場抵抗加熱可能。
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