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共用設備検索結果

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触針式プロファイラ (Stylus Profiler)

メーカー名
ブルカージャパン (Bruker)
型番
Dektak XT-A
設備画像
触針式プロファイラ
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・用途:段差測定
・分解能:1Å(6.5umレンジ)
・走査距離:55mm
・触圧範囲:0.03-15mg
・最大試料サイズ:φ8inch
・ その他:自動ステージ、3Dマッピング、粗さ測定、ストレス測定

Dektak 段差計 (Dektak surface profiler)

メーカー名
Dektak (Dektak)
型番
8
設備画像
Dektak 段差計
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

Tencor 段差計 (Tencor profiler)

メーカー名
Tencor (Tencor)
型番
AlphaStep
設備画像
Tencor 段差計
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

触針式段差計(CR) (Stylus Profilometer)

メーカー名
Veeco社 (株)アルバック (Veeco Instruments Inc. ULVAC, Inc.)
型番
Dektak150
設備画像
触針式段差計(CR)
設置機関
京都大学
仕様・特徴
(株)アルバック社製 Dektak150
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm~55mm
サンプルステージサイズ 直径 150mm

触針式段差計(加工評価室) (Stylus Profilometer)

メーカー名
Veeco社 (株)アルバック (Veeco Instruments Inc. ULVAC, Inc.)
型番
Dektak150
設備画像
触針式段差計(加工評価室)
設置機関
京都大学
仕様・特徴
(株)アルバック社製 Dektak150
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm~55mm
サンプルステージサイズ 直径 150mm

触針式表面形状測定器(Dektak) (Stylus profilometer (Dektak))

メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
Dektak XT
設備画像
触針式表面形状測定器(Dektak)
設置機関
公立千歳科学技術大学
仕様・特徴
・200 mmφ対応
・測定再現性 1σ=4 Å以下

触針式表面段差計 (Stylus Profilemeter)

メーカー名
KLA-TENCOR (KLA-TENCOR)
型番
Alpha-Step D-500
設備画像
触針式表面段差計
設置機関
筑波大学
仕様・特徴
測定長さ; 30 mm
サンプルステージ直径; 140 mm
サンプル厚さ(最大); 20 mm
垂直測定レンジ(最大);1200 μm
垂直測定分解能;0.038 nm (2.5 μm Range)
観察倍率;×1, ×1.3, ×2, ×4

触針式段差計 (Contact Profiler)

メーカー名
KLA テンコール (KLA-Tencor)
型番
Alpha-Step IQ
設備画像
触針式段差計
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
仕様・特徴
・型式:Alpha-Step IQ
・試料サイズ:4インチ
・測定再現性:1σ≤8Å
・膜厚測定範囲:400 μm
・走査距離:最大10mm
・走査速度:2~200 μm /sec
・サンプリングレート:50, 100, 200, 500, 1000ポイント /sec
・測定レンジ:20, 400 μm
・針圧設定範囲:1~100 mg

触針式段差計 (Contact surface profiler)

メーカー名
KLA テンコール (KLA Tencor)
型番
P-7
設備画像
触針式段差計
設置機関
東京工業大学
仕様・特徴
Φ150mm電動ステージ > 長距離測定(最大150mm) 垂直測定レンジ(最大)327μm 垂直測定分解能(最高)0.001nm 段差測定再現性 1σ=0.4nm (1μm標準試料) 針圧範囲 0.5~50mg

表面形状測定器(段差計) (Stylus profiler)

メーカー名
KLAテンコール (KLA-Tencor)
型番
アルファーステップ IQZ
設備画像
表面形状測定器(段差計)
設置機関
豊田工業大学
仕様・特徴
触針段差計、材料は不問
φ4インチ程度
針先端が形状を沿って動けることが条件
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