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透過電子顕微鏡 (Transmission Electron Microscope)

設備ID
TU-520
設置機関
東北大学
設備画像
透過電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2100Plus
仕様・特徴
・加速電圧 200 kV (LaB6電子銃)
・EDSマッピング

卓上走査型電子顕微鏡装置群 (Tabletop scanning electron microscope (SEM))

設備ID
NM-006
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
卓上走査型電子顕微鏡装置群
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
Miniscope TM4000PlusII Miniscope TM3000
仕様・特徴
【TM4000PlusII】
・倍率:10倍~10万倍
・加速電圧 : 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
・画像信号 : 反射電子, 二次電子
・真空モード:導電体(反射電子のみ)、標準、帯電軽減
・EDX:あり
【TM3000】
・倍率:15倍~3万倍
・加速電圧 : 5 kV、15 kV
・画像信号 : 反射電子のみ
・観察モード:通常、帯電軽減
・EDX:あり

広空間・高分解能分析電子顕微鏡 (Analytical transmission electron microscope)

設備ID
NM-301
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
広空間・高分解能分析電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM300F
仕様・特徴
金属・セラミックス試料の組成,化学状態,結晶方位等の局所分析およびマップ取得が可能.
・加速電圧:300kV, 200kV, 120kV, 80kV
・球面収差補正(イメージおよびプローブのダブルコレクタ)
・大口径EDS検出器(158mm2 x 2本)
・エネルギーフィルター(Gatan ContinuumER)
・プリセッション電子回折を用いた結晶方位測定システム(ASTAR)

微細組織3次元マルチスケール解析装置 (Orthogonal FIB-SEM)

設備ID
NM-302
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
微細組織3次元マルチスケール解析装置
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
SMF-1000
仕様・特徴
最高1nmピッチで制御可能で,加工と観察を繰り返すこと(シリアルセクショニング)で3D像再構築が可能.更にEBSDを併用した3D-EBSDやTEM試料作製も対応可能.
・SEM:ZEISS Gemini
・EDS:EDAX
・EBSD:EDAX TSL Hikari
・Ar-ion gun
・Depo. gas:Carbon

300kV収差補正電子顕微鏡 (Analytical apparatus for electron beam sensitive materials)

設備ID
NM-401
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
300kV収差補正電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL )
型番
JEM-ARM300F
仕様・特徴
・加速電圧 60, 80, 300kV
・TEM非線形情報限界 60pm
・TEM格子分解能 50pm
・STEM空間分解能 58pm
・CMOSカメラ 動画撮影機能搭載
・デュアルEDS検出器 合計立体角1.2Sr
・EELS エネルギー分解能0.7eV

単原子分析電子顕微鏡 (Atomic-resolution analytical electron microscope)

設備ID
NM-402
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
単原子分析電子顕微鏡
メーカー名
日本エフイー・アイ (FEI)
型番
FEI Titan Cubed
仕様・特徴
・加速電圧80kV-300kV
・分解能70pm (300kV)
・エネルギー分解能80meV (80kV)
・ダブルコレクター
・モノクロメータ

TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置 (FIB-SEM combined apparatus for automatic preparation of TEM specimens)

設備ID
NM-403
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
NX5000
仕様・特徴
・FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5-30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA
・SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1-30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA
・低加速Arイオンビーム:加速電圧0.5-2kV、最大ビーム電流20nA

実動環境対応物理分析電子顕微鏡 (Real working environment physical characterization TEM)

設備ID
NM-501
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
実動環境対応物理分析電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM200F-G
仕様・特徴
・照射系レンズ収差補正、結像系レンズ収差補正
・ショットキーFEG
・加速電圧: 80, 120, 200 kV
・TEM, STEM, EDS, EELS, 電子線ホ口グラフイー, 電子線トモグラフィー

実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡 (Real working environmental electron holography microscope)

設備ID
NM-502
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM200F-B
仕様・特徴
・照射系レンズ収差補正、結像系レンズ収差補正
・Cold FEG
・加速電圧: 60, 80, 200 kV
・TEM, STEM, EDS, EELS, 電子線ホ口グラフイー, 電子線トモグラフィー

200kV電界放出形透過電子顕微鏡 (200kV field emission transmission electron microscope)

設備ID
NM-503
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
200kV電界放出形透過電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2100F1
仕様・特徴
・ショットキーFEG
・加速電圧: 100, 120, 200 kV
・TEM, STEM, EDS, EELS, 電子線トモグラフィー
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