超高真空蒸着装置(ベルジャー)
本設備の共用は終了しています。
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最終更新日：2024年8月28日
| 設備ID | UT-705 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 設備名称 | 超高真空蒸着装置(ベルジャー) (Ultra high vacuum evaporator (Bell-jar) ) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | 自作 (DIY) |
| 型番 | |
| キーワード | 抵抗加熱蒸着 |
| 仕様・特徴 | 抵抗加熱のみ。φ4inchまで可能 |
| 設備状況 | 共用を終了した設備です |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-705 |
