データセット

半導体表面反応のリアルタイムXPS観察

課題名

AE-001ショーケースJJAP

課題番号

JPMXP1223AE5001

データセット登録者

藤川誠司(日本原子力研究開発機構)
Yasutaka Tsuda(日本原子力研究開発機構)

エンバーゴ期間終了日

2024-02-14

データセットID

eba00ed9-bfbe-497f-b2a2-3508d0754b77

ファイルサイズ

17.95MB

データ数

1

装置名

表面化学実験ステーション

要約

清浄化したSi(001)試料を酸素ガスにより酸化した。酸化が進み、試料表面近傍の化学状態が変化する様子を放射光光電子分光によりリアルタイムで測定した。

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