データセット

データセット名:PHI-QuanteraⅡの日常点検データ(2023年度)

課題名:光電子分光装置の日常点検データ(2023年度)

データセット登録者(所属機関):AIST大塚(国立研究開発法人 産業技術総合研究所)

課題番号:
JPMXP1223AT0423
実施機関:
産業技術総合研究所

要約

国立研究開発法人産業技術総合研究所 ナノプロセシング施設(NPF)のX線光電子分光分析装置(PHI-QuanteraⅡ)の日常点検を目的とした標準試料(Au, Ag, Cu)を測定したデータです。日常点検は、Au4f7/2, Cu2p3/2でエネルギを確認、Ag3d5/2で半値幅を確認しています。また、基本的に単一成分となるよう直前にArイオンビームによるクリーニングを実施していますが、BIC-Fittingにより、成分分離のテストを実施しているものがあります。

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データメトリックス

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データインデックス

登録日:
2024.11.20
エンバーゴ解除日:
2024.06.30
データセットID:
eb83bc03-8ca5-4044-a4cd-9d9de888ad48
データタイル数:
41
ファイル数:
41
ファイルサイズ:
987.09MB

成果発表・成果利用