データセット名：Kratos AXIS-Novaの日常点検データ（2023年度）
課題名：光電子分光装置の日常点検データ（2023年度）
データセット登録者（所属機関）：AIST大塚（国立研究開発法人 産業技術総合研究所）
- 課題番号：
- JPMXP1223AT0423
- 実施機関：
- 産業技術総合研究所
要約
国立研究開発法人産業技術総合研究所 ナノプロセシング施設（NPF）のX線光電子分光分析装置（Kratos AXIS-Nova）の日常点検目的で測定を行ったAu, Ag, Cu標準試料のスペクトルです。日常点検では、Au 4f7/2, Cu2p3/2でエネルギー軸、Ag3d5/2の半値幅でエネルギ分解能の確認を実施しています。また、これらスペクトルの強度変動を確認して異常がないか判断する参考にしています。
キーワード・タグ
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データメトリックス
- ページビュー：
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データインデックス
- 登録日：
- 2024.11.20
- エンバーゴ解除日：
- 2024.06.30
- データセットID：
- 16117f46-9ee6-4697-a933-00290b1a2312
- データタイル数：
- 21
- ファイル数：
- 21
- ファイルサイズ：
- 391.25MB