データセット名：各種フォトレジストL / S (ライン＆スペース）のMLA150露光条件最適化
課題名：レジストの形状観察
データセット登録者（所属機関）：東北大 古林（東北大学）
- 課題番号：
- JPMXP1222TU0157
- 実施機関：
- 東北大学
要約
マスクレスアライナMLA150(Heidelberg Instruments製)には、露光量とフォーカスを一定間隔で同時に振り、最適露光量とベストフォーカスを調べるSeries機能がある。MLA150を露光装置としてリソグラフィーを行い、FE-SEMでレジスト膜厚付近のL/S断面形状を観察し、OFPR、TCIR、TSMR、PMER、ZPNの最適露光量とベストフォーカスの検証を行った。
キーワード・タグ
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データメトリックス
- ページビュー：
- 2733
- ダウンロード数：
- 14
データインデックス
- 登録日：
- 2024.01.31
- エンバーゴ解除日：
- 2024.01.18
- データセットID：
- 43f8fa42-7b5f-48d3-83b3-cbac570bf1c2
- データタイル数：
- 10
- ファイル数：
- ファイルサイズ：
- 94.65MB
装置・プロセス