マスクレスアライナMLA150(Heidelberg Instruments製)には、露光量とフォーカスを一定間隔で同時に振り、最適露光量とベストフォーカスを調べるSeries機能がある。MLA150を露光装置としてリソグラフィーを行い、FE-SEMでレジスト膜厚付近のL/S断面形状を観察し、OFPR、TCIR、TSMR、PMER、ZPNの最適露光量とベストフォーカスの検証を行った。