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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
リアル表面プローブ顕微鏡1(RSPM)(JSPM5400他、改造) 産業技術総合研究所 微細構造解析 ・JEOL社製JSPM5400 AFM探針形状評価によるイメージ補正 試料サイズ10mm角以内(ウエハー測定は対応可能) 真空対応 電気測定も限定的に可能 画像...
リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM)2(SII、RIBM他、改造、付帯装置) 産業技術総合研究所 微細構造解析 日立ハイテクサイエンス社製E-SWEEP、S-Image、RIBM社 Nanoexploer AFM探針形状評価によるイメージ補正 溶液中での高速リアルタイムイメージング(毎秒10...