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中分類分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)  → 中分類一覧を表示
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11件中、1件目~11件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
ECR-SIMSエッチング装置 名古屋大学 微細加工 ECRイオンガン:入江工研社製 RGB-114  マイクロ波入力150 W,加速電圧600 V,イオン照射径30mmSIMS検出器:PFEIFFER社製 EDP400分析質量1...
大気圧IAMS(イオン付着質量分析器) 名古屋大学 微細加工 キャノンアネルバ社製大気圧プラズマの質量分析が可能検出質量数  1-410...
真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター) 名古屋大学 微細加工 NUシステム社製プラズマ診断用、真空チャンバー壁面に設置、H、O、N、Cラジカル密度計測可...
In-situ 電子スピン共鳴 (ESR) 名古屋大学 微細加工 Bruker社製 EMX Premium X試料中に存在する不対電子のリアルタイム計測、温度可変不可(室温)、気体分析可能サンプルサイズ: 5 mm&nb...
ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置 名古屋大学 微細加工 基板温度、ラジカル、マルチ分光器、FTIRを用いてエッチングの際に生成する温度、ラジカル密度、励起種、表面分析をIn-situで行う。 プロセスガ...
磁気特性評価システム群 名古屋大学 微細加工 交番磁界勾配型磁力計:感度10^-8emu,20kOe振動試料型磁力計:感度10^-5emu,15kOeトルク磁力計:2×10^-3erg,15kOe磁気光学スペクトロメータ:2×10^-...
X線光電子分光装置 名古屋大学 微細加工 KRATOS社製  AXIS-HSI線源:Mg/AlデュアルアノードおよびAlモノクロX線源角度分解測定用マニュピレータArスパッタ銃による試料エッチング可能帯...
フーリエ変換赤外分光分析装置 名古屋大学 微細加工 日本分光社製  FT/IR-615V型測定波数範囲: 7800~350cm-1透過および全反射測定対応干渉計、試料室、検出器部真空引き可能...
表面解析プラズマビーム装置 名古屋大学 微細加工 プラズマビームを材料表面に照射し、in-situ XPSによって評価することによって、表面-プラズマ間の反応の解析が可能また、イオンおよびラジカル...
in-situプラズマ照射表面分析装置 名古屋大学 微細加工 プラズマ照射した表面を大気暴露すること無く、in-situでX線光電子分光法(XPS)、フーリエ変換赤外分光光度計(FT-IR)、走査型トンネル顕微鏡(STM...
X線光電子分光装置 名古屋大学 微細加工 VG/ESCALab250Mg/AlツインアノードAlモノクロX線源Arスパッタ銃角度分解測定用マニュピレータ最大試料サイズ:20mmφ...