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大分類形状・形態観察、分析  → 大分類一覧を表示
中分類分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)  → 中分類一覧を表示
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6件中、1件目~6件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
In-situ 電子スピン共鳴 (ESR) 名古屋大学 微細加工 Bruker社製 EMX Premium X試料中に存在する不対電子のリアルタイム計測、温度可変不可(室温)、気体分析可能サンプルサイズ: 5 mm&nb...
ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置 名古屋大学 微細加工 基板温度、ラジカル、マルチ分光器、FTIRを用いてエッチングの際に生成する温度、ラジカル密度、励起種、表面分析をIn-situで行う。 プロセスガ...
X線光電子分光装置 名古屋大学 微細加工 KRATOS社製  AXIS-HSI線源:Mg/AlデュアルアノードおよびAlモノクロX線源角度分解測定用マニュピレータArスパッタ銃による試料エッチング可能帯...
表面解析プラズマビーム装置 名古屋大学 微細加工 プラズマビームを材料表面に照射し、in-situ XPSによって評価することによって、表面-プラズマ間の反応の解析が可能また、イオンおよびラジカル...
in-situプラズマ照射表面分析装置 名古屋大学 微細加工 プラズマ照射した表面を大気暴露すること無く、in-situでX線光電子分光法(XPS)、フーリエ変換赤外分光光度計(FT-IR)、走査型トンネル顕微鏡(STM...
X線光電子分光装置 名古屋大学 微細加工 VG/ESCALab250Mg/AlツインアノードAlモノクロX線源Arスパッタ銃角度分解測定用マニュピレータ最大試料サイズ:20mmφ...