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大分類成膜・膜堆積  → 大分類一覧を表示
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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
多元スパッタ装置(仕様A) 京都大学 微細加工 キャノンアネルバ(株)社製 EB1100 カソード 非磁性体Φ4"PMC x 4基   基板トレイ Φ4"Siウエハ x 3枚用 Φ6"...
多元スパッタ装置(仕様B) 京都大学 微細加工 キャノンアネルバ(株)社製 EB1100 カソード 非磁性体Φ4"PMC x3基   基板トレイ Φ4"Siウエハ x 3枚用 Φ6"Siウ...