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大分類成膜・膜堆積  → 大分類一覧を表示
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3件中、1件目~3件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
スパッタ成膜装置 東京工業大学 微細加工 ケーサイエンス製  電極用スパッタ成膜装置 Arガス利用 Ti, W, TiW電極の成膜可能 ロードロックチャンバ付き 成膜レート ~3nm/mi...
スパッタ成膜装置 東京工業大学 微細加工 絶縁膜用・ゲージコントローラ、CDGコントローラ装備   膜厚計装備     スパッタコントローラ装備   SiN、Ta2O3、SiO2&nb...
スパッタ成膜装置 東京工業大学 微細加工 対向ターゲット式RFスパッタリング(2元)...