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大分類成膜・膜堆積  → 大分類一覧を表示
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6件中、1件目~6件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
川崎ブランチスパッタリング装置 東京大学 微細加工 型式番号:CFS-4EP-LL 芝浦メカトロニクス(株)ターゲット材をアルゴンプラズマによってスパッタリングし、基板に製膜するスパッタリング装置...
川崎ブランチECRスパッタリング装置 東京大学 微細加工 型式番号:EIS-230W (株)エリオニクスターゲット材をアルゴンプラズマによってスパッタリングし、基板に製膜するスパッタリング装置です。109...
8インチ汎用スパッタ装置 東京大学 微細加工 ULVAC SIH-450装置。4インチウエーハ8枚、8インチウエーハ2枚導入可能。6インチターゲット2枚、4インチターゲット1枚が可能。RFとDCスパッタリングが可...
高密度汎用スパッタリング装置 東京大学 微細加工 芝浦 CFS-4ES 汎用高密度 ターゲット超豊富ですサンプルサイズ: 8inchターゲットサイズ: 3inch ターゲット種類 : Ag, Al, Au, Cr, Cu, Ni, Ta, Ti, Pd ※, Pt, Zn, A...
絶縁膜スパッタリング装置 東京大学 微細加工 アネルバ EB1100 誘電体膜成膜用SiNの反応スパッタもできますターゲットサイズ: 8inchターゲット種類 : Si, SiN(反応スパッタ),  SiO2(石川研究室...
電子線顕微鏡観察用コーター 東京大学 微細加工 PECS スパッタによりカーボン膜など観察用の薄膜を堆積できます...