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大分類リソグラフィ・露光・描画装置  → 大分類一覧を表示
中分類光露光(マスクレス、直接描画)  → 中分類一覧を表示
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研究機関豊田工業大学
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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
マスクレス露光装置 豊田工業大学 微細加工 (株)大日本科研 MX-1204 φ4インチにポジ型フォトレジスト(膜厚1μm以上)に、2μm幅のラインアンドスペースを全面(外周3mm除く)に描い...