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研究機関産業技術総合研究所
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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
i 線露光装置 産業技術総合研究所 微細加工 (株)ニコンテック社製 NSR-2205i12D最大開口数(N.A.)0.63の投影レンズを搭載したi線縮小投影型露光装置。投影レンズはN.A.可変システムを採用し...