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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
極端紫外光光電子分光装置(EUPS) 産業技術総合研究所 微細構造解析 産総研で基本原理を考案し装置化した、世界で唯一の表面分析装置分析法としての特長ーー物性を決める物理量が評価できる。 ①深さ分解能0.5nm...