文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-TU-018
分類 ものづくり・合成支援 > 薄膜作製支援
その他材料評価 > 熱測定
その他材料評価 > 膜厚測定装置(エリプソメーター)
ものづくり・合成支援 > 分子合成支援
設備名 有機デバイス作成装置群
(Apparatuses for fabricating organic devices)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 東北大学ナノテク融合技術支援センター
仕様

蒸着チャンバー付三連式グローブボックス
  和泉テック社製IZU-DP3B-AS
  VAC社製三連グローブボックス(OMNI-LAB)
  蒸着チャンバー×2
  ターボ分子ポンプ  (排気速度500 l/s)
  基板加熱・回転機構付

【付帯設備】
マクロ撮影デジタルカメラシステム
  和泉テック社製IZU-SMW1260AS
  冷却ペルチェ式、中倍率ズームレンズ(45~480倍)
光学式膜厚測定装置
  浜松ホトニクス社製C10178-01
  測定薄膜範囲  20nm~50μm
  測定波長範囲  400nm~1100nm
熱分析装置
  RIGAKU社製Thermo plus EVO II
  DSCユニット  測定温度範囲  -150~725°C
  TGAユニット  測定温度範囲  室温~1100°C
防振台付きマニュアルポジショナ
  ハイソル社製HP-120E型
  XYZ各12mm,  送り量0.254mm/回転,  分解能2μm
  ゴム式除振台(サイズ W400×D500×34mmt)

S-TU-018 S-TU-018

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