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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-SH-056
分類 ものづくり・合成支援 > ナノ材料・カーボン材料作製支援
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 精密触媒制御ナノカーボン合成・分析装置
(Precisely catalyst controlled Nanocarbon synthesis and analysis system )
地域 中部
設置機関 信州大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 カーボン科学研究所 橋本佳男
仕様

ULVAC製
触媒層形成室(MBE室):到達圧力5×10-8Pa
  分子線蒸発源は1250℃4セルを装備
  (現在導入中分子源Fe,Ni,Cu)、液体窒素シュラウドあり。

ナノカーボン合成室(CVD室):減圧、大気圧CVD可能
  到達温度1000℃、メタン、水素、窒素、酸素導入

分析室(STM室):到達圧力5×10-8Pa
  HOPG結晶の超高真空中で原子像の観察を担保

自動基板搬送システム:試料導入室から、MBE準備室、
  分析準備室、CVD室まで高真空中を自動搬送。

S-SH-056

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