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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-OS-144
分類 表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 走査型電子顕微鏡
(Scanning Electron Microscope (SEM) )
地域 近畿
設置機関 大阪大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 山崎 昌信
仕様

本体部
株式会社日立ハイテクノロジーズSU9000

  • 加速電圧:0.5~30kV
  • 二次電子像分解能:0.5nm(加速電圧30kV)
  • STEM分解能:0.34nm(加速電圧30kV)
  • 試料サイズ(最大):5×10×2 mm(試料高さにより加速電圧に制限有り)
  • インレンズ型

EDX部
アメテック株式会社
TEAN

  • 解析可能元素:Be~U
S-OS-144 S-OS-144

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