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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-OS-140
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
表面分析装置 > その他表面分析
設備名 接触式膜厚測定器
(Stylus Profiler)
地域 近畿
設置機関 大阪大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 樋口 宏二
仕様

BULUKER
Dektak XT-A

  • 垂直測定レンジ:1 mm
  • 膜厚測定再現性(1σ):5Å
  • 走査距離上限:55mm
  • 触針圧:1mg~15mg
S-OS-140

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