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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-NU-113
分類 走査型プローブ顕微鏡 > 原子間力顕微鏡
表面分析装置 > その他表面分析
設備名 高分子ナノ薄膜の膜厚測定(簡易原子間力顕微鏡)
(Wide-Area Atomic Force Microscope for thin film thickness measurements)
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 工学研究科 准教授 永野修作
仕様

SII製、NPX2100

  • 大きな面積範囲(800μm四方)を測定できる原子間力顕微鏡(コンタクト・タッピング)
  • 光学顕微鏡観察下の任意の位置の測定が可能
  • 段差測定、膜厚測定などに利用できる。
S-NU-113

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