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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-NU-108
分類 表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
設備名 走査型電子顕微鏡(SEM)
(Scanning Electron Microscope (SEM))
地域 中部
設置機関 名古屋大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 工学研究科 林育生
仕様

JEOL製、JSM-7500F

  • 電界放出形電子銃  
  • 二次電子分解能:1.0nm(15kV)、1.4nm(1kV)
  • 倍率:×25~1,000,000  加速電圧:0.1~30kV  ・ジェントルビーム
  • オプション:リトラクタブル反射電子検出器(RBEI)、エネルギー分散形X線分析装置(EDS)
S-NU-108

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