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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-NM-032
分類 表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 卓上電子顕微鏡
(Table top SEM)
地域 関東
設置機関 物質・材料研究機構
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 ナノテクノロジー融合ステーション ソフトマテリアルライン
仕様

日立ハイテクノロジーズ製:Miniscope TM3000

  • 倍率:15倍~30,000倍(デジタルズーム:2倍、4倍)
  • 観察モード:通常モード、帯電軽減モード
  • 最大試料寸法:70mm径
  • 最大試料厚さ:50mm
  • 電子銃:プリセンタードカートリッジフィラメント
  • 検出系:高感度4分割半導体反射電子検出器
  • エネルギー分散型蛍光X線分析:検出可能元素 B5~Am95
S-NM-032

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