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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-NI-118
分類 ものづくり・合成支援 > 薄膜作製支援
設備名 超精密電子材料基板平坦化装置
(Ultra-Precision Flattening Machine for Electronics Material)
地域 中部
設置機関 名古屋工業大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 江龍 修
仕様

MAT社製

  • 基板直径2インチ以下。場合により8インチまで要応談
  • 小径加工(10mm)であれば0.1度刻みで面方位制御可能
S-NI-118

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