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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-NI-117
分類 表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 特型走査電子顕微鏡装置
(Specialized Scanning Electron Microscope)
地域 中部
設置機関 名古屋工業大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 種村 眞幸
仕様

JEOL-JSM5600+特型試料ステージ

  • ピエゾ駆動探針装備
  • 電気・機械特性測定
  • その場抵抗加熱
S-NI-117

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