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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-NI-113
分類 ものづくり・合成支援 > 薄膜作製支援
設備名 特型表面ナノ構造形成装置
(Specialized Surface Nanostructure Fabrication System)
地域 中部
設置機関 名古屋工業大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 種村 眞幸
仕様

ULVAC社製 特型

  • 標準2インチ基板
  • 超斜め入射イオンビームによるマスクレスの表面ナノ構造・ナノドット形成可能
  • 組成制御可能
  • 高分子材料の加工可能
S-NI-113

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