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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-NI-104
分類 ものづくり・合成支援 > 薄膜作製支援
成膜・膜堆積 > スパッタリング
設備名 プラズマ・ガス凝縮クラスター堆積装置
(Plasma-Gas-Condensation Cluster Deposition Apparatus)
地域 中部
設置機関 名古屋工業大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 日原 岳彦
仕様

日本ビーテック社製、特別仕様

  • クラスターサイズ  直径3~15nm
  • 直流マグネトロンスパッタリング方式
  • スパッタ電力  最大500W
  • 基板サイズ  最大2cmX2cm
S-NI-104

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