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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-MS-094
分類 走査電子顕微鏡 > 低真空走査電子顕微鏡
形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 低真空分析走査電子顕微鏡
(Low vacuum Analytical Scanning Electron Microscopy)
地域 中部
設置機関 分子科学研究所
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 解良聡 機器センター長
中尾聡 研究員
酒井雅弘 技術職員
仕様

  日立ハイテクノロジーズ SU6600

・ショットキー形電子銃
・空間分解能1.2nm(30kV)、3.0nm(1kV)
・試料150mm まで
・低真空機能(10~300Pa)
・EDS(EDX) BrukerAXS FQ5060/XFlash6

加速電圧0.5~30kV で、二次電子像、反射電子像、明視野透過電子像を観察します。
10Pa~300Pa の低真空観察に対応します。
EDS(EDX)による元素分析や元素マッピングが可能です。

S-MS-094

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