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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-MS-125
分類 その他 > その他
設備名 ナノ秒フッ素系エキシマ-レーザー
(Nanosecond Fluorinated Excimer Laser)
地域 中部
設置機関 分子科学研究所
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 解良聡 機器センター長
山中孝弥 技術職員
仕様

Lambda Physik Compex110F

・パルスエネルギー:193nm 200mJ, 248nm 400mJ, 351nm 150mJ,
・発振繰り返し:single-shot~100Hz

193 nm、248 nm、351 nmのナノ秒パルスレーザー光を発振させることができ、光解離や光イオン化などの光源として用いることができる。

S-MS-125

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