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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-MS-102
分類 膜加工・エッチング > 集束イオンビーム加工
試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
設備名 集束イオンビーム加工機
(Focus Ion Beam Processing)
地域 中部
設置機関 分子科学研究所
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 解良聡 機器センター長
中尾聡 研究員
仕様

JEOL JEM-9310FIB

・Ga イオンビーム
・試料20mm まで
・カーボンデポジション

加速電圧30kV のGa イオンビームにより、SEM、TEM 観察用試料を加工します。
デポジション機能はカーボンに対応します。

 

S-MS-102

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