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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-MS-101
分類 走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 電界放出形走査電子顕微鏡
(Field Emission Scanning Electron Microscopy)
地域 中部
設置機関 分子科学研究所
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 解良聡 機器センター長
中尾聡 研究員
仕様

JEOL JSM-6700F

・冷陰極電界放出形電子銃(コールドFE)
・空間分解能1nm(15kV)、2.2nm(1kV)
・試料2インチまで
・カーボンコーター

加速電圧0.5~30kV で、二次電子像、反射電子像を観察します。導電処理にはカーボンコーターを提供します。

S-MS-101

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