文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-MS-100
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 3次元光学プロファイラーシステム
(3D Optical Surface Profiler)
地域 中部
設置機関 分子科学研究所
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 山本浩史 装置開発室長
鈴井光一 技術課長
近藤聖彦 技術職員
中野路子 技術職員
高田紀子 技術職員
仕様

3次元光学プロファイラーシステム (Newview)
  精密温度調整機能付クリーンブース

非接触で3次元形状測定、表面粗さ測定を行う装置です。
□46.5㎜範囲の3次元形状測定や、Ra0.1nm以下の超精密面の測定、透明膜の厚さ測定(1μm以上)など。
X-Yステージ可動範囲200㎜×200㎜。Z軸可動範囲100㎜

 

S-MS-100

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