文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-KU-154
分類 表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
設備名 三次元SEM画像測定解析システム
(3D-SEM system)
地域 九州・沖縄
設置機関 九州大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者
仕様

KEYENCE VE-9800

  • 加速電圧0.5-20kV
  • 資料最大サイズ 直径64mm
  • 3D画像解析が容易
  • さまざまな有機/無機/複合材料表面構造解析低加速電圧観察可能(0.5 kV)
  • 非導電性試料でも非蒸着で観察可能(サンプル依存)により試料最表面の微細構造解析可能
  • 測定真空度は3-260MPa
  • 最高分解能30 nm
S-KU-154

この設備に関するお問い合わせ先

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。

設置機関Webサイト 設置機関Webサイト   この設備について問い合わせる この設備について問い合わせる(設置機関への問い合わせフォーム)