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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-KU-139
分類 質量分析 > SIMS
表面分析装置 > 二次イオン質量分析(SIMS)
設備名 動的二次イオン質量分析測定装置
(Secondary ion mass spectrometer)
地域 九州・沖縄
設置機関 九州大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者
仕様

Analysetechnik GmbH社製ATOMIKA SIMS 4000

四重極型
一次イオンビームソース:酸素とアルゴン
加速電圧:3 k - 15 kV
測定面積:250 μm - 1000 μm
深さ分解能:7 - 8 nm      

S-KU-139

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