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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-JI-088
分類 試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
膜加工・エッチング > 集束イオンビーム加工
設備名 GFIS搭載微細加工機
(GFIS (Gas Field Ion Source)-FIB)
地域 中部
設置機関 北陸先端科学技術大学院大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者
仕様

電界電離ガスイオン源搭載集束イオンビーム装置・GFIS-FIB

株式会社日立ハイテクサイエンス製 MR-GFIS

紹介ページはこちらです。

http://www.jaist.ac.jp/news/press/2014/-1-0000001-mm-0001m.html

S-JI-088

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