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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-JI-084
分類 表面分析装置 > オージェ電子分光(AES)
表面分析装置 > 電子分光(XPS/UPS/AES)
設備名 走査型オージェ電子分光顕微鏡・AES
(AES (Auger Electron Spectroscopy))
地域 中部
設置機関 北陸先端科学技術大学院大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者
仕様

アルバックファイ社製 SAM670Xi

  • 元素分析:原子番号3以上
  • 走査電子ビーム径:15nm以下(加速電圧20kV、電流1nA)
  • エネルギー分析:0-3200 eV
S-JI-084

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