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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-JI-082
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
設備名 高分解能走査型電子顕微鏡・SEM
(SEM (Scanning Electron Microscope))
地域 中部
設置機関 北陸先端科学技術大学院大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者
仕様

日立ハイテクノロジーズ社製 S-5200

  • 加速電圧  0.5 - 30 kV (常用10kV)
  • 電子銃  冷陰極電界放出形
  • 最高分解能 0.5nm
  • EDSによる組成分析機能付
  • 試料傾斜  ±40°
S-JI-082

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