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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-JI-070
分類 試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
膜加工・エッチング > 集束イオンビーム加工
形状・形態観察、分析 > 試料作製装置(TEM)
設備名 電子顕微鏡観察試作作製装置
(FIB (Focused Ion Beam))
地域 中部
設置機関 北陸先端科学技術大学院大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者
仕様

集束イオンビーム加工装置・FIB(SIIナノテク社製  SMI3050)

  • 試料サイズ  最大 50 mmφ、12 mm厚
  • 試料ステージ  5軸ユーセントリックチルトステージ
  • 加速電圧  5 - 30 kV
  • 2次電子分解能  4 nm@30 kV
  • 最大電流  20 nA
  • 最大電流密度  30 A/cm2
S-JI-070

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