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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-JI-063
分類 表面分析装置 > 電子分光(XPS/UPS/AES)
表面分析装置 > X線光電子分光(XPS)
放射光計測装置 > X線光電子分光法(XPS)
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 X線光電子分光装置・XPS
(XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy))
地域 中部
設置機関 北陸先端科学技術大学院大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者
仕様

島津/クレートス社製 AXIS-ULTRA DLD

  • 測定可能元素  Li~U
  • X線源  Mg/Al 特性X線、AlKαモノクロメータX線
  • 最小プローブ 40μmφ
  • 分析深さ  数nm
  • 最大試料サイズ  100mm(X)×25mm(Y)×10mm(Z)
  • イメージング  空間分解能  3μm以下  元素像および化学状態像
  • 深さ分析可能  エッチングイオン銃使用
  • 傾斜分析可能  0~90°・紫外光分光分析(UPS)可能
S-JI-063

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