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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID S-CT-039
分類 試料作製装置 > 試料作製装置群
設備名 クロスセクションポリシャ
(Cross section polisher)
地域 北海道
設置機関 千歳科学技術大学
研究分野 分子・物質合成
担当部署または担当者 山﨑 郁乃
仕様

本装置はブロードなAr+イオンビームと遮蔽(しゃへい)板を用いて試料 の断面を加工する新しい発想の断面試料作製装置です。これまで経験を必要とした他の手法に比べ、個人差が無く質の良い断面を短時間で得る事ができます。

イオン加速電圧:2~6kV
イオンビーム径:500μm
ミリングスピード:100μm/h
最大搭載試料サイズ:11mm(幅)×10mm(長さ)×2mm(厚さ)
使用ガス:アルゴンガス

S-CT-039

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