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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-YA-358
分類 形状・形態観察、分析 > 環境試験機・高真空評価
設備名 昇温脱離ガス分析装置 【ダイナミック型】
(Dynamic thermal desorption spectroscopy )
地域 中国
設置機関 山口大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 木村
仕様

日本電子(株)製    (特別仕様)
真空系加熱装置

  • 試料サイズ:30mmφ×20mmh
  • 到達真空:8×10-6Pa
  • 温度範囲:室温~1000℃
  • 電流導入端子:6ピン×2

常圧系加熱装置

  • 試料サイズ:15mmφ×15mmH~80mmφ×120mmH
  • 温度範囲:室温~300℃
  • 電流導入端子:6ピン×2以上
  • 測定・解析システム:GC/MS
F-YA-358

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